电子元件与材料2010，Vol.29Issue(7)：37-39,3.
PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析
Structure and surface morphology of diamond-like carbon thin films prepared by PECVD method
摘要
关键词
类金刚石薄膜(DLC)/PECVD法/薄膜结构/表面形貌分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
潘德芳,苑进社,秦国平,刘颖丹..PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析[J].电子元件与材料,2010,29(7):37-39,3.基金项目
重庆师范大学博士启动基金资助项目(No.06XLB008) （No.06XLB008）
