电子元件与材料2010，Vol.29Issue(7)：40-42,3.
高介电常数Ta/Al2O3复合膜的制备及性能研究
Preparation and properties of high permittivity Ta/Al2O3 composite film
摘要
关键词
氧化铝/钽/电沉积/复合膜/介电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马立波,朱绪飞..高介电常数Ta/Al2O3复合膜的制备及性能研究[J].电子元件与材料,2010,29(7):40-42,3.基金项目
南京理工大学科研基金资助项目(No.XKF05018) （No.XKF05018）
