电子元件与材料2010，Vol.29Issue(10)：21-24,4.
低电阻率高透过率TAZO透明导电膜的制备及性能
Preparation and property of transparent conducting Ti-Al co-doped zinc oxide films with low resistivity and high transmittance
摘要
关键词
靶基距/TAZO薄膜/透明导电膜/磁控溅射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
史晓菲,郭美霞..低电阻率高透过率TAZO透明导电膜的制备及性能[J].电子元件与材料,2010,29(10):21-24,4.基金项目
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015) （No.ZR2009GL015）
