沈阳农业大学学报2010，Vol.41Issue(4)：468-472,5.
溅射制备的Al2O3薄膜的光学性质
Optical Properties of Al2O3 Thin Films Made at Room Temperature by the Medium Frequency Reactive Magnetron Sputtering System
摘要
关键词
中频反应磁控溅射/氧化铝薄膜/X射线光电子能谱(XPS)/光学特性引用本文复制引用
骆红,廖国进..溅射制备的Al2O3薄膜的光学性质[J].沈阳农业大学学报,2010,41(4):468-472,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50376067) （50376067）
辽宁省教育厅科学基金资助项目(2008316) （2008316）
