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Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究

田野 潘国峰 杨瑞霞

电子元件与材料2010,Vol.29Issue(11):27-31,5.
电子元件与材料2010,Vol.29Issue(11):27-31,5.

Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究

Investigation on gas sensing properties of aluminum-doped ZnO thick films prepared by the sol-gel method

田野 1潘国峰 1杨瑞霞1

作者信息

  • 1. 河北工业大学信息工程学院,天津,300130
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摘要

关键词

sol-gel法/纳米ZnO厚膜/铝掺杂/气教性能/灵敏度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

田野,潘国峰,杨瑞霞..Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究[J].电子元件与材料,2010,29(11):27-31,5.

基金项目

国家科技重大专项课题资助项目(No.2009ZX02308-004) (No.2009ZX02308-004)

国家自然科学基金资助项目(No.60972106) (No.60972106)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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