电子与封装2010，Vol.10Issue(10)：35-37,43,4.
SPC在微电路生产中腐蚀工序的应用
Application of SPC in Etching Process in the Microcircuit Fabrication
赵金茹 1王春栋 1秦永伟 1李俊1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡,214035
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摘要
关键词
SPC/控制图/腐蚀工序分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵金茹,王春栋,秦永伟,李俊..SPC在微电路生产中腐蚀工序的应用[J].电子与封装,2010,10(10):35-37,43,4.
