电子元件与材料2009，Vol.28Issue(10)：41-43,53,4.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.013
ZnO:Ti透明导电薄膜的制备与光电性能研究
Deposition and photoelectric properties of transparent conducting titanium-doped zinc oxide films
摘要
关键词
ZnO:Ti膜/透明导电薄膜/偏压/磁控溅射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘汉法,袁玉珍,张化福,袁长坤,类成新..ZnO:Ti透明导电薄膜的制备与光电性能研究[J].电子元件与材料,2009,28(10):41-43,53,4.基金项目
山东理工大学创新团队支持计划资助项目(No.2006) （No.2006）
