电子元件与材料2012，Vol.31Issue(5)：71-75,5.
射频磁控溅射制备钛酸锶钡薄膜的研究进展
Research progress on barium strontium titanium thin films deposited by RF magnetron sputtering
摘要
Abstract
The domestic and foreign research tendency of barium strontium titanium (BST) films prepared by RF magnetron sputtering is reviewed. Effects of RF magnetron sputtering parameters (including electrode, sputtering pressure, oxygen partial pressure and temperature) on microstructure and electric properties of BST thin films are described in detail. Finally, some problems needed to be solved on preparation of BST thin films are proposed.关键词
铁电薄膜/钛酸锶钡/综述/射频磁控溅射/介电性能Key words
ferroelectric film/ barium strontium titanium/ review/ RF magnetron sputtering/ dielectric properties分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
林泽彬,蔡苇,刘行冰,宋云霞,符春林..射频磁控溅射制备钛酸锶钡薄膜的研究进展[J].电子元件与材料,2012,31(5):71-75,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51102288) （No.51102288）
重庆市自然科学基金资助项目(No.CSTC2010BB4286) （No.CSTC2010BB4286）
重庆科技学院校内科研基金资助项目(No.CK2010Z05) （No.CK2010Z05）
重庆科技学院第六届大学生科技创新计划项目:重庆科技学院第四届优秀创新人才培养计划项目资助 （）
