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半导体设备AMATP5000死机故障分析及处理OA

The Troubleshooting about Screen Lockup Problems of the P5000 Semiconductor Tools

中文摘要英文摘要

著名半导体设备厂商美国应用材料公司生产了半导体制程设备P5000,该设备在实际使用过程中经常出现各种类型的死机现象。文章重点介绍了通过查询P5000设备的死机报告界面,对该界面进行分析,找出其中最关键的死机代码,并对常见的的死机代码进行原因分析,找出相应的死机原因。针对不同的死机原因提出相对应的可行性解决方案,最终快速、正确地解决常见的死机问题。

The semiconductor tools P5000 made by Applied Materials, the famous semiconductor tools manufacturer in USA. This tools often occur all sorts of screen lockup problems. Here, the author introduce how to find the report of the screen lockup problems and analyse these reports, finally find the exception numbers in these reports. The author decipher these exception numbers and give the troubleshooting about the screen lockup problems.

郭晶磊;顾吉

中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035

信息技术与安全科学

P5000死机代码VME接地

P5000lockupexception numberVMEgrounding noise

《电子与封装》 2012 (5)

45-48,4

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