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钨浆料的稳定性研究

林彬 周晓华 罗文忠 吴海斌

电子元件与材料2012,Vol.31Issue(8):62-65,4.
电子元件与材料2012,Vol.31Issue(8):62-65,4.

钨浆料的稳定性研究

Study on the stability of tungsten slurry

林彬 1周晓华 2罗文忠 1吴海斌2

作者信息

  • 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都610054
  • 2. 广东风华高新科技股份有限公司电子工程开发分公司,广东肇庆526020
  • 折叠

摘要

关键词

氧化铝陶瓷/钨浆料/金属化/稳定性

分类

化学化工

引用本文复制引用

林彬,周晓华,罗文忠,吴海斌..钨浆料的稳定性研究[J].电子元件与材料,2012,31(8):62-65,4.

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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