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Sol-gel法制备ZnO-TiO2厚膜及其气敏特性研究

刘伟 潘国峰 曹冠龙 邵琳伟

电子元件与材料2012,Vol.31Issue(9):27-30,4.
电子元件与材料2012,Vol.31Issue(9):27-30,4.

Sol-gel法制备ZnO-TiO2厚膜及其气敏特性研究

Preparation of ZnO-TiO2 thick film by sol-gel method and gas sensing properties studying

刘伟 1潘国峰 1曹冠龙 1邵琳伟1

作者信息

  • 1. 河北工业大学微电子研究所,天津 300130
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摘要

关键词

气敏传感器/TiO2厚膜/掺杂量/退火温度/灵敏度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘伟,潘国峰,曹冠龙,邵琳伟..Sol-gel法制备ZnO-TiO2厚膜及其气敏特性研究[J].电子元件与材料,2012,31(9):27-30,4.

基金项目

国家科技重大专项课题资助项目(No.2009ZX02308-004) (No.2009ZX02308-004)

国家自然科学基金资助项目(No.60972106) (No.60972106)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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