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覆有BST膜的半导体功率器件结终端研究

葛微微 张国俊 钟志亲 王姝娅 戴丽萍

电子元件与材料2012,Vol.31Issue(12):46-48,3.
电子元件与材料2012,Vol.31Issue(12):46-48,3.

覆有BST膜的半导体功率器件结终端研究

Study on the BST film covered junction terminal of power semiconductor devices

葛微微 1张国俊 1钟志亲 1王姝娅 1戴丽萍1

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054
  • 折叠

摘要

关键词

半导体功率器件/钛酸锶钡(BST)膜/结终端/场限环

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

葛微微,张国俊,钟志亲,王姝娅,戴丽萍..覆有BST膜的半导体功率器件结终端研究[J].电子元件与材料,2012,31(12):46-48,3.

基金项目

中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(No.ZYGX2011J029) (No.ZYGX2011J029)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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