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非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究

王强 张竹青 花国然 张华 李志锋

电子元件与材料2013，Vol.32Issue(1)：48-50,58,4.
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电子元件与材料2013，Vol.32Issue(1)：48-50,58,4.

非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究

Crystallizing the amorphous silicon thin films by using YAG laser

王强 1张竹青 2花国然 2张华 2李志锋3

作者信息

  • 1. 南通大学 电子信息学院,江苏南通226019
  • 2. 南通大学 机械工程学院,江苏南通226019
  • 3. 江苏综艺光伏有限公司,江苏南通226376
  • 折叠

摘要

关键词

激光技术/激光脉冲频率/激光脉宽/脉冲占空比

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王强,张竹青,花国然,张华,李志锋..非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究[J].电子元件与材料,2013,32(1):48-50,58,4.

基金项目

国家自然科学基金青年基金资助项目(No.51205212) （No.51205212）

江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2008184) （No.BK2008184）

南通大学研究生科技创新计划资助项目(No.YKC12064) （No.YKC12064）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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