电子元件与材料2013，Vol.32Issue(5)：20-22,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2013.05.006
厚度对TaN薄膜电性能的影响研究
Influences of thickness on the electrical properties of tantalum nitride thin films
摘要
关键词
TaN薄膜/直流反应磁控溅射/厚度/TCR/电阻率/方阻分类
通用工业技术引用本文复制引用
李会容,张雪峰..厚度对TaN薄膜电性能的影响研究[J].电子元件与材料,2013,32(5):20-22,3.基金项目
四川省科技创新研究团队项目(No.2011JTD0039) （No.2011JTD0039）
