| 注册
首页|期刊导航|电子元件与材料|TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响

TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响

刘天成

电子元件与材料2013,Vol.32Issue(10):14-16,20,4.
电子元件与材料2013,Vol.32Issue(10):14-16,20,4.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2013.10.004

TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响

Effects of TiO2 doping amount on the properties of TZO ceramic targets

刘天成1

作者信息

  • 1. 湛江师范学院基础教育学院物理系,广东湛江524037
  • 折叠

摘要

关键词

TZO/TiO2掺杂量/微观形貌/相对密度/抗弯强度/电阻率

Key words

TZO/ TiO2 doping amount/ micro-morphology/ relative density/ bending strength/ resistivity

引用本文复制引用

刘天成..TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响[J].电子元件与材料,2013,32(10):14-16,20,4.

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文