电子元件与材料2013,Vol.32Issue(10):14-16,20,4.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2013.10.004
TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响
Effects of TiO2 doping amount on the properties of TZO ceramic targets
刘天成1
作者信息
- 1. 湛江师范学院基础教育学院物理系,广东湛江524037
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摘要
关键词
TZO/TiO2掺杂量/微观形貌/相对密度/抗弯强度/电阻率Key words
TZO/ TiO2 doping amount/ micro-morphology/ relative density/ bending strength/ resistivity引用本文复制引用
刘天成..TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响[J].电子元件与材料,2013,32(10):14-16,20,4.