电子元件与材料2013，Vol.32Issue(12)：56-58,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2013.12.014
一种新型的硅基底MEMS微带天线
Novel type of Si-based MEMS microstrip antenna
摘要
关键词
MEMS技术/体微加工技术/表面微加工技术/微带天线/光子晶体/带宽/回波损耗Key words
MEMS technology/ bulk micromachining technique/ surface micromachining technique/ microstrip antenna/ photonic crystal/ bandwidth/ return loss分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
白芮欣,刘建霞,蔡冬梅..一种新型的硅基底MEMS微带天线[J].电子元件与材料,2013,32(12):56-58,3.基金项目
山西省自然科学基金资助项目(No.2013011019-5) （No.2013011019-5）
微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目(No.KFS4) （No.KFS4）
