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在不同衬底上生长ZnO薄膜及其特性研究

何建廷 魏芹芹 杨淑连 李田泽

电子元件与材料2014,Vol.33Issue(1):12-14,3.
电子元件与材料2014,Vol.33Issue(1):12-14,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2014.01.004

在不同衬底上生长ZnO薄膜及其特性研究

Growth and properties study of ZnO thin films on various substrates

何建廷 1魏芹芹 1杨淑连 1李田泽1

作者信息

  • 1. 山东理工大学电气与电子工程学院,山东淄博255049
  • 折叠

摘要

关键词

ZnO薄膜/衬底/脉冲激光沉积/XRD/PL/AFM

Key words

ZnO thin films/ substrate/ pulsed laser deposition/ XRD/ PL/ AFM

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何建廷,魏芹芹,杨淑连,李田泽..在不同衬底上生长ZnO薄膜及其特性研究[J].电子元件与材料,2014,33(1):12-14,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.90301002) (No.90301002)

电子元件与材料

OACSCDCSTPCD

1001-2028

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