电子元件与材料2014，Vol.33Issue(8)：30-33,37,5.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2014.08.007
沉积温度对GZO透明导电薄膜结构和性能的影响
Effects of deposition temperature on structure and properties of GZO transparent conductive thin films
摘要
关键词
磁控溅射/GZO薄膜/沉积温度/光学性能/电学性能/品质因数Key words
magnetron sputtering/ GZO thin film/ deposition temperature/ optical properties/ electrical properties/figure of merit分类
数理科学引用本文复制引用
兰椿,龙路,钟志有,杨春勇,侯金..沉积温度对GZO透明导电薄膜结构和性能的影响[J].电子元件与材料,2014,33(8):30-33,37,5.基金项目
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.CZW14019) （No.CZW14019）
中南民族大学学术团队基金资助项目(No.XTZ09003) （No.XTZ09003）
国家自然科学基金资助项目(No.61002013 （）
No.11147014) （）
湖北省自然科学基金资助项目(No.2013CFA052) （No.2013CFA052）
