电子元件与材料2014,Vol.33Issue(9):45-49,5.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2014.09.012
T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系
Study on relationship between the sensitivity of the T-type thin film thermocouple and resistivities of films
杨丽红 1陈皓帆 1王景良1
作者信息
- 1. 上海理工大学机械工程学院,上海200093
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摘要
关键词
T型薄膜热电偶/热电势率/灵敏度/电阻率/正交试验/静态标定Key words
T-type TFTC/ thermal potential rate/ sensitivity/ resistivity/ orthogonal experiment/ static calibration分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨丽红,陈皓帆,王景良..T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系[J].电子元件与材料,2014,33(9):45-49,5.