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T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系

杨丽红 陈皓帆 王景良

电子元件与材料2014,Vol.33Issue(9):45-49,5.
电子元件与材料2014,Vol.33Issue(9):45-49,5.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2014.09.012

T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系

Study on relationship between the sensitivity of the T-type thin film thermocouple and resistivities of films

杨丽红 1陈皓帆 1王景良1

作者信息

  • 1. 上海理工大学机械工程学院,上海200093
  • 折叠

摘要

关键词

T型薄膜热电偶/热电势率/灵敏度/电阻率/正交试验/静态标定

Key words

T-type TFTC/ thermal potential rate/ sensitivity/ resistivity/ orthogonal experiment/ static calibration

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨丽红,陈皓帆,王景良..T型薄膜热电偶灵敏度与薄膜电阻率的关系[J].电子元件与材料,2014,33(9):45-49,5.

电子元件与材料

OACSCDCSTPCD

1001-2028

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