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半导体AuSn焊料低温真空封装工艺研究

李丙旺 徐春叶

电子与封装2011,Vol.11Issue(2):4-8,5.
电子与封装2011,Vol.11Issue(2):4-8,5.

半导体AuSn焊料低温真空封装工艺研究

The Semiconductor Packaging Technology of AuSn Solder with Low-temperature based on Vacuum

李丙旺 1徐春叶1

作者信息

  • 1. 华东光电集成器件研究所,安徽蚌埠,233042
  • 折叠

摘要

关键词

AuSn焊料/真空/还原气体

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李丙旺,徐春叶..半导体AuSn焊料低温真空封装工艺研究[J].电子与封装,2011,11(2):4-8,5.

电子与封装

1681-1070

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