基于PVDF的柔性压力传感器阵列的制备及仿真研究OACSCDCSTPCD
Preparation and simulation for flexible pressure sensor array based on poly(vinylidene fluoride) film
采用湿法刻蚀制备了基于PVDF薄膜的柔性4×4压力传感器阵列，该传感器具有16个毫米尺寸的电容器单元。使用光学显微镜、原子力显微镜观测了传感器表面形貌，显示电极阵列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力电耦合效应测试的结果显示传感器的应力输入和电压输出具备高的信噪比和良好的线性关系，力电响应为12×10–3V/kPa。受力-空载响应输出显示，对传感器施加20~80 kPa范围的脉冲压力，得到了输出0.26~0.98 V的电压信号，并且放电时间少…查看全部>>
Flexible 4×4 sensor array with 16 capacitor units in micro scale was fabricated by etching based on a piezoelectric PVDF film. The morphology of the sensor array was studied by an optical microscope and atomic force microscope, the results show that the sensor array based on PVDF film has a smooth surface with a clear interface of electrodes. Electro-mechanical properties of the sensor were examined as well, the results show a high signal to noise ratio and …查看全部>>
卢凯;黄文;刘思祎;李响;林媛;冯雪
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054清华大学 工程力学系，北京 110084电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054清华大学 工程力学系，北京 110084
通用工业技术
PVDF薄膜刻蚀柔性传感器阵列仿真
PVDF filmetchingflexibilitysensorarraysimulation
《电子元件与材料》 2016 (3)
40-43,4
北京邮电大学开放课题基金资助（No. IPOC2013B006）；中央高校基本科研业务费专项资金资助（No. ZYGX2013J040）；国家重点基础研究发展计划（973计划）资助（No.2015CB351905）
评论