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LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制

王运龙 刘建军 柳龙华 邱颖霞 王志勤

电子与封装2016,Vol.16Issue(7):5-9,17,6.
电子与封装2016,Vol.16Issue(7):5-9,17,6.

LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制

Evaluation and Control Method of Cavity Deformation in LTCC Green Tape Lamination Process

王运龙 1刘建军 1柳龙华 1邱颖霞 1王志勤1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第38研究所,安徽合肥230088
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摘要

关键词

低温共烧陶瓷/腔体形变/金属掩模

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王运龙,刘建军,柳龙华,邱颖霞,王志勤..LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制[J].电子与封装,2016,16(7):5-9,17,6.

电子与封装

1681-1070

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