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单区JTE加场板终端结构的优化设计

潘晓伟 冯全源 陈晓培

电子元件与材料2016,Vol.35Issue(11):38-41,4.
电子元件与材料2016,Vol.35Issue(11):38-41,4.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.11.009

单区JTE加场板终端结构的优化设计

Optimization design of single-zone JTE termination with field plate

潘晓伟 1冯全源 1陈晓培1

作者信息

  • 1. 西南交通大学微电子研究所,四川成都611756
  • 折叠

摘要

关键词

结终端扩展/复合场板/VDMOS/击穿电压/表面最大电场/界面态电荷

Key words

JTE/multiple field plate/VDMOS/breakdown voltage/peak of surface field/interface charge

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

潘晓伟,冯全源,陈晓培..单区JTE加场板终端结构的优化设计[J].电子元件与材料,2016,35(11):38-41,4.

基金项目

国家自然科学基金重点项目资助(No.61531016) (No.61531016)

国家自然科学基金面上项目资助(No.61271090) (No.61271090)

四川省科技支撑计划项目资助(No.2015GZ0103 ()

No.2016GZ0059) ()

电子元件与材料

OACSCDCSTPCD

1001-2028

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