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一种微型探针台的设计和应用

顾吉 吴建伟

电子与封装2017,Vol.17Issue(1):41-46,6.
电子与封装2017,Vol.17Issue(1):41-46,6.

一种微型探针台的设计和应用

Design and Application of a Miniature Probe Station

顾吉 1吴建伟2

作者信息

  • 1. 东南大学,南京211189
  • 2. 中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214072
  • 折叠

摘要

关键词

探针台/晶圆/辐照/高低温/测试系统

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

顾吉,吴建伟..一种微型探针台的设计和应用[J].电子与封装,2017,17(1):41-46,6.

电子与封装

1681-1070

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