电子与封装2017,Vol.17Issue(1):41-46,6.
一种微型探针台的设计和应用
Design and Application of a Miniature Probe Station
顾吉 1吴建伟2
作者信息
- 1. 东南大学,南京211189
- 2. 中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214072
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摘要
关键词
探针台/晶圆/辐照/高低温/测试系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
顾吉,吴建伟..一种微型探针台的设计和应用[J].电子与封装,2017,17(1):41-46,6.