电子与封装2018,Vol.18Issue(9):33-35,3.
低电容TVS用常压外延工艺研究
Study on the AP Epitaxial Process of LCTVS Diode
仲张峰 1尤晓杰 1王银海 1邓雪华 1魏建宇 1杨帆1
作者信息
摘要
关键词
瞬态电压抑制器(TVS)/低电容/常压外延/自掺杂/纵向载流子分布(SRP)分类
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仲张峰,尤晓杰,王银海,邓雪华,魏建宇,杨帆..低电容TVS用常压外延工艺研究[J].电子与封装,2018,18(9):33-35,3.