电子元件与材料2018，Vol.37Issue(11)：26-30,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.11.004
电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列
Fabrication of silicon micro-tip arrays using wet electrochemical etching method
摘要
关键词
无机非金属材料/硅微尖阵列/倒棱台/微柱形成模型/HF阳极电化学腐蚀/TMAH各向异性湿法腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李鑫,罗洁,任丁..电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列[J].电子元件与材料,2018,37(11):26-30,5.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(11005076,11305029) （11005076,11305029）
