电子元件与材料2019，Vol.38Issue(1)：23-27,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.01.004
不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究
Microstructure and optical properties of Zn0.97 Co0.03 O Thin films prepared using magnetron sputtering at different sputtering power
摘要
关键词
Zn0.97Co0.03O薄膜/磁控溅射/溅射功率/结构/可见光透过率/光致发光分类
数理科学引用本文复制引用
阳生红,蒋志洁,张曰理..不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究[J].电子元件与材料,2019,38(1):23-27,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61176010 （）
1172027) （）
