一种新型FBAR结构的设计

张浩张志杰翟宇鹏程皓吴永盛

电子元件与材料2019，Vol.38Issue(3)：50-55,61,7.

电子元件与材料2019，Vol.38Issue(3)：50-55,61,7.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.03.009

Design of a novel FBAR structure

张浩 ¹张志杰 ²翟宇鹏 ¹程皓 ²吴永盛¹

作者信息

新型薄膜体声波谐振器结构/SU8薄膜替代声波限制结构/有限元仿真/易于制备

信息技术与安全科学

张浩,张志杰,翟宇鹏,程皓,吴永盛..一种新型FBAR结构的设计[J].电子元件与材料,2019,38(3):50-55,61,7.

国家自然科学基金(51575499) （51575499）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-2028

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