电子元件与材料2019，Vol.38Issue(6)：12-19,8.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.06.002
微系统技术现状及发展综述
Overview of microsystem technology and its development
马福民 1王惠2
作者信息
- 1. 海装西安局,陕西 西安 710000
- 2. 成都宏明电子股份有限公司,四川 成都 610100
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摘要
关键词
微系统技术/3D MMIC/综述/3D MCM/MEMS/集成技术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马福民,王惠..微系统技术现状及发展综述[J].电子元件与材料,2019,38(6):12-19,8.
