电子元件与材料2019，Vol.38Issue(7)：7-12,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.07.002
单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究
Transfer preparation technology of single crystal lithium niobate thin films
摘要
关键词
铌酸锂薄膜/晶圆键合/离子注入剥离技术/BCB分类
通用工业技术引用本文复制引用
帅垚,李宏亮,吴传贵,王韬,张万里..单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究[J].电子元件与材料,2019,38(7):7-12,6.基金项目
国家重点研发计划项目资助(2017YFB0406402) （2017YFB0406402）
国家自然科学基金资助(51772044) （51772044）
