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激光器芯片烧结用AuSn薄膜焊料制造技术研究

刘凯 罗燕 任卫鹏 王立春 彭斌

电子元件与材料2019,Vol.38Issue(8):106-110,5.
电子元件与材料2019,Vol.38Issue(8):106-110,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.08.018

激光器芯片烧结用AuSn薄膜焊料制造技术研究

Fabrication of AuSn thin film solder for LD eutectic

刘凯 1罗燕 1任卫鹏 1王立春 1彭斌2

作者信息

  • 1. 上海航天电子技术研究所,上海 201109
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
  • 折叠

摘要

关键词

金锡/薄膜/分层电镀/共晶/合金化/激光二极管

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘凯,罗燕,任卫鹏,王立春,彭斌..激光器芯片烧结用AuSn薄膜焊料制造技术研究[J].电子元件与材料,2019,38(8):106-110,5.

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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