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MgZnO:N薄膜中Mg对N掺杂热稳定性的影响

胡启昌 阮凯斌 王玉柱 丁凯

电子元件与材料2019,Vol.38Issue(9):61-65,5.
电子元件与材料2019,Vol.38Issue(9):61-65,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.09.009

MgZnO:N薄膜中Mg对N掺杂热稳定性的影响

Effect of magnesium on thermal stability of N-doped MgZnO films

胡启昌 1阮凯斌 1王玉柱 1丁凯2

作者信息

  • 1. 福建农林大学 机电工程学院, 福建 福州 350002
  • 2. 中国科学院福建物质结构研究所, 福建 福州 350002
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌/MOCVD/拉曼光谱/掺杂/退火/热稳定性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

胡启昌,阮凯斌,王玉柱,丁凯..MgZnO:N薄膜中Mg对N掺杂热稳定性的影响[J].电子元件与材料,2019,38(9):61-65,5.

基金项目

国家自然科学基金面上项目 (61474121) (61474121)

福建省中青年教师教育科研项目 (NJT180146) (NJT180146)

福建农林大学科技创新专项基金项目 ( CXZX2018032) ( CXZX2018032)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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