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HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究

陈曦 甘志华 苗春蕾

电子与封装2019,Vol.19Issue(10):8-12,5.
电子与封装2019,Vol.19Issue(10):8-12,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.1003

HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究

Study of Parallel Seam Sealing Process on HTCC Hermetic Packaging

陈曦 1甘志华 1苗春蕾1

作者信息

  • 1. 北京七星华创微电子有限责任公司,北京100015
  • 折叠

摘要

关键词

高温共烧陶瓷/气密性封装/平行缝焊

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈曦,甘志华,苗春蕾..HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究[J].电子与封装,2019,19(10):8-12,5.

电子与封装

1681-1070

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