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P型外延电阻率表面态的研究

仲张峰 韩旭 潘文宾 葛华 尤晓杰 王银海 杨帆

电子与封装2020,Vol.20Issue(3):48-51,4.
电子与封装2020,Vol.20Issue(3):48-51,4.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0311

P型外延电阻率表面态的研究

Study on the Surface State of P-type Epitaxial Resistivity

仲张峰 1韩旭 1潘文宾 1葛华 1尤晓杰 1王银海 1杨帆1

作者信息

  • 1. 南京国盛电子有限公司,南京 211111
  • 折叠

摘要

关键词

P型/表面态/纵向载流子分布(SRP)/电负性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

仲张峰,韩旭,潘文宾,葛华,尤晓杰,王银海,杨帆..P型外延电阻率表面态的研究[J].电子与封装,2020,20(3):48-51,4.

电子与封装

1681-1070

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