电子元件与材料2020，Vol.39Issue(5)：67-72,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.05.010
氧等离子体对少层MoS2及其场效应晶体管的影响研究
Effect of oxygen plasma treatment on few-layer MoS2 and its field-effect-transistor
摘要
关键词
二硫化钼/场效应晶体管/氧等离子体/拉曼光谱/掺杂分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张亚东,贾昆鹏,吴振华,田汉民..氧等离子体对少层MoS2及其场效应晶体管的影响研究[J].电子元件与材料,2020,39(5):67-72,6.基金项目
河北省留学人员择优资助项目(C2015003040) （C2015003040）
国家重点研发计划(2016YFA0202300) （2016YFA0202300）
国家自然科学基金(61774168) （61774168）
