电子元件与材料2020，Vol.39Issue(7)：72-77,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0326
刻蚀方法对Ti3C2二维材料层状结构的影响
Influences of etching method on layered structure of Ti3 C2 two-dimensional materials
摘要
关键词
二维材料/MXene(Ti3C2)/层状结构/直接刻蚀法/原位刻蚀法分类
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邱凡,王占勇,刘敏,丁松..刻蚀方法对Ti3C2二维材料层状结构的影响[J].电子元件与材料,2020,39(7):72-77,6.基金项目
上海市科委地方高校能力建设项目 (16090503600) （16090503600）
