电子与封装2020，Vol.20Issue(8)：62-66,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0807
掩模涨缩技术在衍射光学元件制作中的应用
Application of Mask Sizing Issues in the Fabrication of Diffractive Optical Elements
张鹏 1李嘉 1丁鼎1
作者信息
- 1. 无锡中微掩模电子有限公司,江苏无锡214000
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摘要
关键词
衍射光学元件/感应耦合等离子体刻蚀技术/涨缩技术/零级光能量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张鹏,李嘉,丁鼎..掩模涨缩技术在衍射光学元件制作中的应用[J].电子与封装,2020,20(8):62-66,5.
