电子元件与材料2020,Vol.39Issue(9):50-55,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0123
具有梯度波纹结构的硅基可延展柔性PN结
Stretchable silicon PN junction with gradient wavy structure
摘要
关键词
柔性电子/波纹结构/PN结/SOI薄膜/硅器件分类
通用工业技术引用本文复制引用
李宇,王海钱,潘泰松..具有梯度波纹结构的硅基可延展柔性PN结[J].电子元件与材料,2020,39(9):50-55,6.基金项目
国家自然科学基金 (61901085) (61901085)