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具有梯度波纹结构的硅基可延展柔性PN结

李宇 王海钱 潘泰松

电子元件与材料2020,Vol.39Issue(9):50-55,6.
电子元件与材料2020,Vol.39Issue(9):50-55,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0123

具有梯度波纹结构的硅基可延展柔性PN结

Stretchable silicon PN junction with gradient wavy structure

李宇 1王海钱 1潘泰松1

作者信息

  • 1. 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054
  • 折叠

摘要

关键词

柔性电子/波纹结构/PN结/SOI薄膜/硅器件

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李宇,王海钱,潘泰松..具有梯度波纹结构的硅基可延展柔性PN结[J].电子元件与材料,2020,39(9):50-55,6.

基金项目

国家自然科学基金 (61901085) (61901085)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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