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沟槽MOSFET耐压与导通电阻的优化设计

乔杰 冯全源

电子元件与材料2020,Vol.39Issue(12):71-76,6.
电子元件与材料2020,Vol.39Issue(12):71-76,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0454

沟槽MOSFET耐压与导通电阻的优化设计

Optimal design of breakdown voltage and on-resistance for trench MOSFET

乔杰 1冯全源1

作者信息

  • 1. 西南交通大学 微电子研究所, 四川 成都 611756
  • 折叠

摘要

关键词

沟槽MOSFET/导通电阻/击穿电压/沟槽深度/沟槽宽度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

乔杰,冯全源..沟槽MOSFET耐压与导通电阻的优化设计[J].电子元件与材料,2020,39(12):71-76,6.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(61531016,61831017) (61531016,61831017)

四川省重大科技专项(19ZDYF2904,2018ZDZX0148,2018GZDZX0001) (19ZDYF2904,2018ZDZX0148,2018GZDZX0001)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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