电子元件与材料2021，Vol.40Issue(1)：6-10,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1554
高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究
Fabrication and high temperature electrical insulation property of AlON/Al2O3 composite coating on superalloy substrate
摘要
关键词
高温绝缘/高温合金衬底/非晶AlON/复合绝缘层/反应溅射分类
通用工业技术引用本文复制引用
林泽伦,马亚平,谷士鹏,王巍,赵晓辉..高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究[J].电子元件与材料,2021,40(1):6-10,5.基金项目
国家自然科学基金(91860117) （91860117）
十三五装备预研共用技术和领域基金(41403020203) （41403020203）
