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面向窄节距倒装互连的预成型底部填充技术

王瑾 石修瑀 王谦 蔡坚 贾松良

电子与封装2021,Vol.21Issue(1):1-10,10.
电子与封装2021,Vol.21Issue(1):1-10,10.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0105

面向窄节距倒装互连的预成型底部填充技术

Development of Preassembly Underfill for Fine Pitch Flip Chip Interconnection

王瑾 1石修瑀 1王谦 1蔡坚 2贾松良1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子学研究所,北京100084
  • 2. 北京信息科学与技术国家研究中心,北京100084
  • 折叠

摘要

关键词

预成型底部填充/窄节距/倒装芯片

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王瑾,石修瑀,王谦,蔡坚,贾松良..面向窄节距倒装互连的预成型底部填充技术[J].电子与封装,2021,21(1):1-10,10.

基金项目

国产中道工艺高端封测装备及材料量产应用工程(2017ZX02519) (2017ZX02519)

电子与封装

1681-1070

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