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微波固态器件与单片微波集成电路技术的新发展OA

Development of Microwave Solid State Devices and Microwave Monolithic Integrated Circuit Technology

中文摘要

对不同时代的单片微波集成电路(MMIC)的器件工艺发展和应用发展状况进行概况总结,并结合当前的研究与应用热点,重点分析以砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)为代表的微波化合物固态器件和基于MMIC的异构异质集成新技术路径,并就今后发展的趋势做出展望.

周德金;黄伟;宁仁霞

复旦大学微电子学院,上海200443清华大学无锡应用技术研究院,江苏无锡214072复旦大学微电子学院,上海200443

信息技术与安全科学

微波单片集成电路氮化镓砷化镓磷化铟异质集成

《电子与封装》 2021 (2)

48-58,11

广西精密导航技术与应用重点实验室开放基金(DH201913)安徽省重点研究与开发计划(201904b11020007)

10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0208

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