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金属氧化物半导体材料用于LPFG气敏传感研究

璩光明 杨莹丽 王国东 杨林林

电子元件与材料2021，Vol.40Issue(3)：239-243,5.
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电子元件与材料2021，Vol.40Issue(3)：239-243,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1652

金属氧化物半导体材料用于LPFG气敏传感研究

Metal oxide semiconductor materials for LPFG gas sensing

璩光明 1杨莹丽 2王国东 3杨林林1

作者信息

  • 1. 河南理工大学 电气工程与自动化学院, 河南 焦作 454003
  • 2. 河南理工大学 分析测试中心,河南 焦作454003
  • 3. 河南理工大学 物理与电子信息学院, 河南 焦作 454003
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摘要

关键词

金属氧化物半导体/电导率/LPFG/折射率/气敏传感

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

璩光明,杨莹丽,王国东,杨林林..金属氧化物半导体材料用于LPFG气敏传感研究[J].电子元件与材料,2021,40(3):239-243,5.

基金项目

国家自然科学基金(U1304608) （U1304608）

河南省高校科技创新团队支持计划(21IRTSTHN016) （21IRTSTHN016）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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