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双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究

张丛春 黄漫国 梁晓波 闫博

电子元件与材料2021，Vol.40Issue(4)：311-315,5.
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电子元件与材料2021，Vol.40Issue(4)：311-315,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1715

双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究

High temperature electrical insulation property of DIBSD sputtered Al2O3 thin film

张丛春 1黄漫国 2梁晓波 3闫博2

作者信息

  • 1. 上海交通大学 微纳电子学系, 上海 200240
  • 2. 北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心, 北京 100022
  • 3. 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室, 北京 100022
  • 折叠

摘要

关键词

双离子束溅射沉积/Al2O3薄膜/衬底温度/高温绝缘/温度传感器

分类

数理科学

引用本文复制引用

张丛春,黄漫国,梁晓波,闫博..双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究[J].电子元件与材料,2021,40(4):311-315,5.

基金项目

国家自然科学基金(11461063) （11461063）

新疆维吾尔自治区自然科学基金(2017D01A24) （2017D01A24）

新疆财经大学基金(2019XTD002) （2019XTD002）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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