电子元件与材料2021，Vol.40Issue(4)：328-332,5.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1859
硅基ZnO光电导紫外传感器的制备与性能表征
Fabrication and characterization of ZnO photoconductive UV sensor on Si substrate
摘要
关键词
ZnO/紫外传感器/磁控溅射/薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李林森,汪涛..硅基ZnO光电导紫外传感器的制备与性能表征[J].电子元件与材料,2021,40(4):328-332,5.基金项目
国家重点研发计划(2020YFB2008704) （2020YFB2008704）
