电子元件与材料2021，Vol.40Issue(4)：333-338,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1691
基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究
Sensitive mechanism study of push-pull thermal expansion flow gyroscope
摘要
关键词
热膨胀流陀螺/有限元分析/电路仿真/敏感机理/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王育新,朴林华,李备,丁霞..基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究[J].电子元件与材料,2021,40(4):333-338,6.基金项目
国家自然科学基金(61771060) （61771060）
北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20) （2019A20）
北京市重点实验室开放课题资助项目(2020202109) （2020202109）
北京信息科技大学促进高校内涵发展项目(20202021A) （20202021A）
现代测控技术教育部重点实验室资助(2020202101) （2020202101）
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2020202108) （2020202108）
