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扇出型晶圆级封装中圆片翘曲研究

张振越 夏鹏程 王成迁 蒋玉齐

电子与封装2021,Vol.21Issue(4):23-27,5.
电子与封装2021,Vol.21Issue(4):23-27,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0405

扇出型晶圆级封装中圆片翘曲研究

Research of Wafer Warpage in Wafer-Level Fan-Out Packaging

张振越 1夏鹏程 1王成迁 1蒋玉齐2

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035
  • 2. 无锡中微高科电子有限公司,江苏无锡214035
  • 折叠

摘要

关键词

扇出型晶圆级封装/翘曲/板壳理论/等效模型/有限元仿真

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张振越,夏鹏程,王成迁,蒋玉齐..扇出型晶圆级封装中圆片翘曲研究[J].电子与封装,2021,21(4):23-27,5.

电子与封装

1681-1070

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