电子与封装2021，Vol.21Issue(6)：59-63,5.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0613
掩模制造用量测设备工件台结构研究
Research on the Worktable Structure of a Measuring Equipment for IC Mask Manufacturing
华卫群 1尤春 1薛文卿1
作者信息
- 1. 无锡中微掩模电子有限公司,江苏无锡 214135
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摘要
关键词
量测设备/工件台/花岗岩基座/气浮导轨/微晶玻璃分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
华卫群,尤春,薛文卿..掩模制造用量测设备工件台结构研究[J].电子与封装,2021,21(6):59-63,5.
