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化学配比对掺铁InP中铁激活效率的影响

黄子鹏 杨瑞霞 孙聂枫 王书杰 陈春梅

电子元件与材料2021，Vol.40Issue(7)：654-659,6.
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电子元件与材料2021，Vol.40Issue(7)：654-659,6.DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0118

化学配比对掺铁InP中铁激活效率的影响

Effect of stoichiometry on the Fe activation efficiency in Fe-doped InP

黄子鹏 1杨瑞霞 1孙聂枫 2王书杰 3陈春梅2

作者信息

  • 1. 河北工业大学 电子信息工程学院, 天津 300401
  • 2. 中国电子科技集团公司第十三研究所, 河北 石家庄 050051
  • 3. 中国电子科技南湖研究院, 浙江 嘉兴 314051
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摘要

关键词

InP/液封直拉(LEC)法/化学配比/缺陷/Fe激活效率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄子鹏,杨瑞霞,孙聂枫,王书杰,陈春梅..化学配比对掺铁InP中铁激活效率的影响[J].电子元件与材料,2021,40(7):654-659,6.

基金项目

国家自然科学基金(61774054,51871202,51401186) （61774054,51871202,51401186）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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