电子与封装2021，Vol.21Issue(8)：59-64,6.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0809
基于SOI的光电探测器设计与单片集成技术研究
SOI-Based Photodetector Design and Monolithic Integration Technology
宋鹏汉 1张有润 1甄少伟 1周万礼 1汪煜2
作者信息
- 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054
- 2. 中科芯集成电路有限公司,江苏无锡 214072
- 折叠
摘要
关键词
绝缘体上硅/光电流/响应度/频率响应分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋鹏汉,张有润,甄少伟,周万礼,汪煜..基于SOI的光电探测器设计与单片集成技术研究[J].电子与封装,2021,21(8):59-64,6.
